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濱松微光顯微鏡（EMMI，又稱PEM，Photon Emission Microscope，光發射顯微鏡）的原理主要基于半導體器件在失效或缺陷狀態下會發出微量光子的現象。以下是對其原理的詳細解釋：
濱松微光顯微鏡不僅具有故障點定位、尋找亮點和熱點的功能，還廣泛應用于以下領域：
此外，濱松微光顯微鏡還可以與光束誘導電阻變化（OBIRCH）功能集成在一個檢測系統中。OBIRCH技術利用激光束在恒定電壓下的器件表面進行掃描，通過檢測金屬互聯線缺陷處溫度累計升高引起的電阻和電流變化，來定位缺陷位置。這種技術具有迅速、通用、潔凈、簡單和靈敏等優點，能夠快速準確地定位IC中元件的短路、布線和通孔互聯中的空洞等缺陷。
綜上所述，濱松微光顯微鏡的原理是基于半導體器件在失效或缺陷狀態下發出的微量光子進行偵測和定位。其應用范圍廣泛，是半導體故障失效分析中的重要工具。
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